କାରାନହାୟାାସ୍ ଦର୍ପଣ ବା ସମୁଦାୟ ପ୍ରତିଫଳନଗୁଡିକ ଲେଜର ରିଚକେଷ୍ଟରେ ଏବଂ ଦର୍ପଣ ସିଷ୍ଟମରେ ପଛ ଦର୍ପଣ ଏବଂ ବାହ୍ୟରେ ବିମ୍ ବୀରତ୍ୱ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |
ସିଲିକନ୍ ହେଉଛି ସାଧାରଣତ used ବ୍ୟବହୃତ ଶବ୍ଦ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍; ଏହାର ସୁବିଧା ହେଉଛି କମ୍ ମୂଲ୍ୟର, ଭଲ ସ୍ଥାୟୀତା ଏବଂ ଥର୍ମାଲ୍ ସ୍ଥିରତା |
ମଲବବଡେନମ୍ ଦର୍ପଣ ଅତ୍ୟଧିକ କଠିନ ପୃଷ୍ଠ ଏହାକୁ ଅଧିକ ଚାହିଦା ଶାରୀରିକ ପରିବେଶ ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ କରିଥାଏ | ମୋ ଦର୍ପଣ ସାଧାରଣତ un ଉନ୍ମୋଚିତ ହୋଇଛି |
| ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ | ମାନକ |
| ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ ସହନଶୀଳତା | | +0.000 "/ -0.00 5" |
| ମୋଟା ସହନଶୀଳତା | | ± 0.010 " |
| ସମାନ୍ତରାଳତା: (ପ୍ଲାନୋ) | ≤ 3 ARC ମିନିଟ୍ | |
| ଆପେଚର ସଫା କରନ୍ତୁ (ପଲିସ୍) | 90% ବ୍ୟାସ | |
| ଭୂପୃଷ୍ଠ ଚିତ୍ର @ 0.63um | ଶକ୍ତି: 2 ଫ୍ରିଙ୍ଗ୍, ଅନିୟମିତତା: 1 ଫ୍ରିଙ୍ଗ୍ | |
| Scratch-dig | 10-5 |
| ଉତ୍ପାଦ ନାମ | ବ୍ୟାସ (mm) | Et (mm) | ଆବରଣ |
| ମୋ ଦର୍ପଣ | | 30 | 3/6 | କ counting ଣସି ଆବରଣ ନାହିଁ, AOI: 45 ° | |
| 50.8 | 5.08 | ||
| ସିଲିକନ୍ ଦର୍ପଣ | | 30 | 3/4 | Hr @ 106um, aoi: 45 ° | |
| 38.1 | 4/8 | ||
| 50.8 | 9.525 |
