ଲେଜର କେଭିଟିରେ କାରମାନହାସ୍ ଦର୍ପଣ କିମ୍ବା ଟୋଟାଲ ପ୍ରତିଫଳକକୁ ପଛ ପ୍ରତିଫଳକ ଏବଂ ଫୋଲ୍ଡ ଦର୍ପଣ ଭାବରେ ଏବଂ ବାହ୍ୟ ଭାବରେ ବିମ୍ ଡେଲିଭରି ସିଷ୍ଟମରେ ବିମ୍ ବେଣ୍ଡର୍ ଭାବରେ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ।
ସିଲିକନ୍ ହେଉଛି ସବୁଠାରୁ ଅଧିକ ବ୍ୟବହୃତ ଦର୍ପଣ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍; ଏହାର ସୁବିଧା ହେଉଛି କମ ମୂଲ୍ୟ, ଭଲ ସ୍ଥାୟୀତ୍ୱ ଏବଂ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା।
ମୋଲିବଡେନମ୍ ଦର୍ପଣ ଅତ୍ୟନ୍ତ କଠିନ ପୃଷ୍ଠ ଏହାକୁ ସବୁଠାରୁ ଦାବିପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୌତିକ ପରିବେଶ ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ କରିଥାଏ। ମୋ ଦର୍ପଣ ସାଧାରଣତଃ ବିନା ଆବରଣରେ ପ୍ରଦାନ କରାଯାଏ।
| ବିଶେଷତାଗୁଡ଼ିକ | ମାନାଙ୍କ |
| ପରିମାଣ ସହନଶୀଳତା | +୦.୦୦୦” / -୦.୦୦୫” |
| ଘନତା ସହନଶୀଳତା | ±୦.୦୧୦” |
| ସମାନ୍ତରାଳତା : (ପ୍ଲାନୋ) | ≤ 3 ଆର୍କ ମିନିଟ୍ |
| ସ୍ପଷ୍ଟ ଆପର୍ଚର (ପଲିସ୍ ହୋଇଥିବା) | ବ୍ୟାସର 90% |
| ପୃଷ୍ଠ ଚିତ୍ର @ 0.63um | ଶକ୍ତି: 2 ଫ୍ରିଞ୍ଜ, ଅନିୟମିତତା: 1 ଫ୍ରିଞ୍ଜ |
| ସ୍କ୍ରାଚ୍-ଡିଗ୍ | ୧୦-୫ |
| ଉତ୍ପାଦ ନାମ | ବ୍ୟାସ (ମିମି) | ET (ମିମି) | ଆବରଣ |
| ମୋ ମିରର୍ | 30 | ୩/୬ | କୌଣସି ଆବରଣ ନାହିଁ, AOI: 45° |
| ୫୦.୮ | ୫.୦୮ | ||
| ସିଲିକନ୍ ମିରର୍ | 30 | ୩/୪ | HR@106um, AOI:45° |
| ୩୮.୧ | ୪/୮ | ||
| ୫୦.୮ | ୯.୫୨୫ |
