କାର୍ମାନହାସ୍ ଦର୍ପଣ କିମ୍ବା ସମୁଦାୟ ପ୍ରତିଫଳକ ଲେଜର ଗୁହାଳରେ ପଛ ପ୍ରତିଫଳକ ଏବଂ ଫୋଲ୍ଡ ଦର୍ପଣ ଭାବରେ ଏବଂ ବାହ୍ୟରେ ବିମ୍ ବିତରଣ ପ୍ରଣାଳୀରେ ବିମ୍ ବଣ୍ଡର୍ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |
ସିଲିକନ୍ ହେଉଛି ସାଧାରଣତ used ବ୍ୟବହୃତ ଦର୍ପଣ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍; ଏହାର ସୁବିଧା କମ୍ ମୂଲ୍ୟ, ଭଲ ସ୍ଥାୟୀତ୍ୱ ଏବଂ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା |
ମଲାଇବେଡେନମ୍ ଦର୍ପଣ ଅତ୍ୟନ୍ତ କଠିନ ପୃଷ୍ଠ ଏହାକୁ ଅତି ଆବଶ୍ୟକୀୟ ଶାରୀରିକ ପରିବେଶ ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ କରିଥାଏ | ମୋ ଦର୍ପଣ ସାଧାରଣତ un ଅନାବୃତ ଭାବରେ ପ୍ରଦାନ କରାଯାଏ |
| ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ | ମାନକ |
| ପରିମାପ ସହନଶୀଳତା | | +0.000 ”/ -0.005” |
| ମୋଟା ସହନଶୀଳତା | | ± 0.010 ” |
| ସମାନ୍ତରାଳତା: (ପ୍ଲାନୋ) | ≤ 3 ଆର୍କ ମିନିଟ୍ | |
| ଆପେଚର ସଫା କରନ୍ତୁ (ପଲିସ୍) | 90% ବ୍ୟାସ | |
| ପୃଷ୍ଠଭୂମି ଚିତ୍ର @ 0.63um | | ଶକ୍ତି: fr ଟି ଫ୍ରିଙ୍ଗ୍, ଅନିୟମିତତା: fr ଟି ଫ୍ରିଙ୍ଗ୍ | |
| ସ୍କ୍ରାଚ୍-ଡିଜି | | 10-5 |
| ଉତ୍ପାଦ ନାମ | ବ୍ୟାସ (mm) | ET (mm) | ଆବରଣ | |
| ମୋ ଦର୍ପଣ | | 30 | 3/6 | କ co ଣସି ଆବରଣ ନାହିଁ, AOI: 45 ° | |
| 50.8 | 5.08 | ||
| ସିଲିକନ୍ ଦର୍ପଣ | | 30 | 3/4 | HR @ 106um, AOI: 45 ° | |
| 38.1 | 4/8 | ||
| 50.8 | 9.525 |
